Государственный первичный специальный эталон единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей ГЭТ 183-2022
НАЗНАЧЕНИЕ
Воспроизведение, хранение и передача единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм и параметров отклонений от сферичности оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм.
ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
Оборонная, оптическая и космическая промышленность.
Обеспечивает около 1,2 тыс. средств измерений отклонений от плоскостности и сферичности
| ✔ Автоматизированная установка на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов для измерений отклонений формы плоских оптических поверхностей «ФИЗО» (рис. 1) | |
| ✔ Эталонная интерференционная установка на базе Физо-интерферометрии для измерений параметров отклонений формы выпуклых и вогнутых сферических поверхностей «ФТИ» (рис. 2) | |
| ✔ Эталонная интерференционная установка с ортогональным ходом лучей для измерений отклонений формы выпуклых сферических поверхностей «УИП» (рис. 3) | |
|
✔ Вспомогательное оборудование: ○ меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм ; ○ комплект мер отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей c разными номинальными радиусами кривизны поверхности R ; ○ мера отклонения от сферичности диаметром 25,4 мм. |
|
✔ Диапазон измерений по параметрам PV (максимальный размах отклонения от плоскостности) и PVs (максимальный размах отклонения от сферичности): от 2 нм до 2 мкм |
|
|
✔ Среднее квадратическое отклонение: от 0,8 до 1,5 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 280 мм) от 3,0 до 5,0 нм (для оптических сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм) |
|
|
✔ Неисключенная систематическая погрешность: от 1,7 до 5,2 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 280 мм) от 35,0 до 72,0 нм (для оптических сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм) |
|
|
✔ Расширенная неопределенность измерений (k=2): от 2,4 до 6,2 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 280 мм) от 20,0 до 60,0 нм (для оптических сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм) |
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Измерение отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих при взаимодействии двух волновых фронтов: опорного и предметного, сформированного при отражении от измеряемой поверхности.
ТРЕБОВАНИЯ К ПОМЕЩЕНИЮ, ПЕРСОНАЛ
Термостабилизированное помещение (температура окружающего воздуха (20±2) °С и относительная влажность окружающего воздуха не более 65 %) лабораторного типа площадью не менее 15 м2 с системами бесперебойного электропитания и виброзащитой. Обслуживающий персонал: 3 чел.
